Auftrag für die Halbleiterindustrie in Schottland:
Tool-Einbringung in Reinraum einer Waferfertigung

Logistische Flexibilität bei schottischem Wetter: Rau kann es im hohen Norden der britischen Insel werden. So war das SCHOLPP-Team Dresden auf einiges gefasst, als es im Herbst zu einem Auftrag nach Greenock bei Glasgow gerufen wurde. Für die GFAB – Diodes Semiconductor sollten innerhalb von fünf Tagen 14 Module in den Reinraum einer Halbleiterproduktion eingebracht werden. Hier warteten einige organisatorische Herausforderungen.

In Greenock betreibt die texanische Unternehmensgruppe Diodes eine Waferfertigungsanlage. Hier sollten 14 Komponenten in den Reinraum (Klasse 1; Klasse 10k Semi Clean) eingebracht werden. Dabei handelte es sich um Module für Vertikalöfen, wovon drei Teile ein Gewicht bis zu 1,0 Tonne aufwiesen. GFAB ist ein Neukunde, der auf Empfehlung unseres langjährigen Partners ASM Europe B.V. in den Niederlanden zu uns fand. Eine Anlage von ASM, eine A400TMDuo Reaktoreinheit, befand sich ebenfalls auf der Maschinenliste.

SCHOLPP-Team reist mit komplettem Spezial-Equipment zu Reinraummontage

Für diesen anspruchsvollen Auftrag hatte SCHOLPP insgesamt nur fünf Tage Zeit. Wird die eng getaktete Planung aufgehen? Klappt die pünktliche Anlieferung der Komponenten? Spielt das Wetter mit? Jedenfalls das Montageteam reiste über Dresden sowie die Flughäfen in Berlin und Glasgow pünktlich in Schottland an. Sofort war eine erste Besprechung mit dem Kunden anberaumt. Der folgende Tag begann mit einer Sicherheitsschulung für die Reinraumumgebung, im Anschluss stimmte sich das SCHOLPP-Team mit einem Montageteam von JHel ab, einem schottischen Montageunternehmen, das ebenfalls mit acht Fachleuten in den Auftrag eingebunden war.

Noch am selben Tag traf das SCHOLPP-Equipment für die geplanten Montageschritte ein: Werkzeuge und Anschlagmittel, ein Aluminium-Portal zum Legen und Aufrichten hoher Teile, eine Triangelkonstruktion für die Maschinenaufnahme, diverse Rotationsfahrwerke für Quertransporte in der Halle und ein Gabelstapler. Mit dem Entpacken der Hebetechnik und der Vormontage war die Baustelle planmäßig vorbereitet. Jetzt fehlten nur noch die Anlagenteile. Doch die Anlieferung ließ auf sich warten. Auf dem Transport von den Niederlanden nach Schottland kam es zu Verzögerungen. Im Vorfeld waren die aufwendigen Zollregistrierungen für den Equipemnt-Transfer Deutschland-Großbritannien von den SCHOLPP-Planern gemeinsam mit Spezialisten der IHK Chemnitz und der Spedition gemanagt worden.

Logistikverzögerung erfordert flexible Organisation

Der ursprüngliche Zeitplan musste deshalb korrigiert werden. Erst am nächsten Tag kamen die Teile an und konnten vom Lkw abgeladen werden. Einige Stunden fehlten dem deutsch-schottischen Team von SCHOLPP und JHel nun, das hieß: Sonderschicht bis spät in den Abend. Inzwischen hatte sich das Wetter verschlechtert, Sturm und Regen setzten den Monteuren zu. Sie mussten sich einiges einfallen lassen, um die empfindlichen Anlagenteile möglichst schnell in die Gebäude einzubringen.

Beim Entpacken der angelieferten Teile führte SCHOLPP auch eine Prüfung samt Schadensdokumentation durch. Hierbei wurde am zweiten von drei Schwerteilen ein schadhaftes Gewinde festgestellt, das für die Befestigung von Anschlagmitteln zum Heben allerdings dringend gebraucht wurde. Bei Wind und Wetter sowie einsetzender Dunkelheit wurde das Gewinde von den SCHOLPP-Monteuren präzise nachgeschnitten. Jetzt konnte das Teil sicher befestigt und für die Einbringung in die Waagerechte gekippt werden. Dies erfolgte mit einem Portal und Stapler im Außenbereich, der Move-In wurde mittels einer Triangelkonstruktion auf Rotationsfahrwerken realisiert.

Technische Expertise und internationale Erfahrung

Alle Abläufe und sprachlichen Kommandos für die Montageschritte wurden im deutsch-schottischen Team vorab präzise festgelegt, was angesichts einiger Spezialitäten des schottischen Englisch nicht ganz einfach war. Hierbei machte sich nicht nur die technische Expertise der SCHOLPP- und JHel-Monteure bezahlt, sondern auch die jahrelange Erfahrung in internationalen Einsätzen. So wurden alle Teile sicher durch die Schleusen vom Außenbereich in den Grauraum, dann unter Einhaltung des abgesprochenen Protokolls in den Reinraum manövriert. Im Innenbereich richtete das Team die Anlagen wieder auf.

Nach einer kurzen Nacht verbrachten die Monteure das letzte der drei großen Bauteile an den finalen Standort. Hierfür wurde das gesamte SCHOLPP- und JHel-Team gebraucht. Das Aufstellen und das Positionieren waren die letzten Montageschritte. Nahtlos wurde nach pünktlicher Fertigstellung das Montageequipment auf der Baustelle demontiert und zum Abtransport ins SCHOLPP-Technikzentrum Chemnitz verpackt. Bei der Nachbesprechung mit dem Kunden GFAB wurden die Abnahmeprotokolle unterzeichnet. Damit war das Projekt erfolgreich und trotz Herausforderungen durch Wetter, Logistik und Montage pünktlich beendet worden. Good Job.